R

Reinheitsklasse:

Klassifizierung eines Reinraums hinblicklich der Konzentration an luftgetragenen Partikeln pro Volumen nach ISO 14644-1

Routineprüfung:

Standardmäßige Sauberkeitsanalyse mit qualifizierten Extraktionsparametern

Rückstandsgewicht/-masse:

Gravimetrisch durch Differenzwgung bestimmte Masse an Restschmutzpartikeln auf dem zu prüfenden Bauteil