M

Materialanalyse:

Überbegriff für Analysen zur Charakterisierung des Prüfobjektes. Hierzu zählen chemische, physikalische, mechanische und metallographische Verfahren.

Mikroskop:

Apparatur, mit welchem Objekte kleiner Größenordnungen vergrößert betrachtet und analysiert werden können. Generell werden Licht-, Polarisations-, Rasterelektronen- und Stereomikroskop unterschieden.

Mischströmung:

Kombination der Reinraum-Luftführungskonzepte Turbulenzarme Verdrängungsströmung (TAV) und Turbulente Verdrängungsströmung (TVS)

Monitoring:

Regelmäßige Überwachung sauberkeitsrelevanter Prozesse