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Faser:

Feines, dünnes fadenähnliches Gebilde, dessen Länge die Breite um ein Vielfaches übersteigt.

Filtermembran:

Es werden prinzipiell gewebte und geschäumte Analysefilter unterschieden. Die Poren der Filter besitzen eine definierte Größe, wodurch Partikel größerer Dimensionen zurückgehalten werden können. Wichtig für die Überprüfung der Technischen Sauberkeit ist die unterschiedliche Feuchtigkeitsaufnahme unterschiedlicher Filtermaterialien, welche zu beachten ist.

Filterbelegung:

Prozentualer Anteil der ausgewerteten Analysefilterfläche, welche mit Partikeln und Fasern belegt ist. Hierbei sollte darauf geachtet werden, dass die Belegung des Filters nicht zu hoch ist, um die Überlagerung und somit eine Überbelegung zu vermeiden.

Filterfeinheit:

Die Filterfeinheit entspricht der Porengröße des Analysefilters. Sie ist die entscheidende Kenngröße darüber, ob Partikel einer bestimmten Größenordnung zurückgehalten werden können oder nicht.

Filterkaskade:

Verwendung von zwei oder mehreren Filtern unterschiedlicher Porengröße nacheinander

Filtration:

Trennung der Partikelfracht von der Extraktionsflüssigkeit mit Hilfe eines entsprechenden Filters.

Flachstrahldüse:

Düse spezieller Geometrie, welche einen flachen, Linien-ähnlichen Strahl erzeugt.