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Partikel:

Kleines, kompaktes, festes Teilchen organischer oder anorganischer Zusammensetzung.

Partikelfalle:

Mit Hilfe mobiler Partikelfallen können die Quellen patikulärer Verunreiniungen in der Fertiungsumgebung funktionsrelevanter Bauteile, welche Sauberkeitsanforderungen unterliegen, bestimmt und exakt analysiert werden. 

Partikelfracht:

Summe aller Teilchen auf einer Oberfläche (Partikuläre Verunreinigung) oder in einer Flüssigkeit (z.B. dem Extraktionsmittel)

Partikelgröße:

Geometrisches Merkmal eines Partikels, welches in der Prüfvorschrift festgelegt ist. Liegt diesbezüglich keine Festlegung vor, so entspricht die Partikelgröße der längsten Dimension Feretmax, welche mit dem Schädigungspotential korreliert.

Partikelgrößenklasse:

Bereich einer Partikelgröße mit festgelegter Unter- und Obergrenze.

Partikelgrößenverteilung:

Partikelanzahl pro Partikelgrößenklasse

Partikelnormal:

Partikelpräparat mit definierter Partikelmasse und/oder Partikelgröße zur Überprüfung der Wirksamkeit von Sauberkeitsanalysen.

Partikelüberlagerung:

Überlappend liegende Partikel z.B. aufgrund zu hoher Filterbelegung, welche bei der Auswertung mittels Lichtmikroskop nicht als einzelne Partikel erfässt werden können.

Prüfbedingungen:

Gegebenheiten, unter welchen eine Sauberkeitsanalyse durchgeführt wird
(z.B. Temperatur, Luftfeuchtigkeit, Art des Filters, Menge an Extraktionsflüssigkeit, usw.)

Prüflos:

Alle Prüfobjekte, deren partikuläre Verunreinigungen in einer gemeinsamen Sauberkeistuntersuchung ermittelt werden (z.B. Schüttgut wie Dichtungsringe)

Prüfmedium:

Überbegriff für eine Extraktionsflüssigkeit, mit deren Hilfe Verunreinigungen von einem Prüfobjekt abgelöst werden.

Prüfobjekt:

Bauteil, dessen Sauberkeit überprüft werden soll.

Prüfprotokoll:

Dokument, welches den exakten Ablauf der Sauberkeitsanalyse beschreibt und neben Angaben zu Prüfobjekt, Extraktion, Filtration und Analyse die Darstellung der Prüfergebnisse enthält.

Prüfprozedur:

Sytsematischer Ablauf einer Sauberkeitsanalyse

Prüfvorschrift:

Dokument mit detaillierten Angaben zu den einzelnen Schritten einer Sauberkeitsanalyse mit allen relevanten (technischen) Kenndaten